--------------------------------------------------------------------------------- HF Furnace 系统更新历史记录 以0.0.0.4版本作为机台可用版本 --------------------------------------------------------------------------------- 1:Job涉及的 command除了Recipe Command触发的不需要上报RecipeAbnormalEnd,其余均需要上报,且ProcessLog的状态也需要同步为RecipeAbnormalEnd 2:增加coolingStart/coolingEnd事件上报 3:提前上报RecipeComplete事件 4:FDC上报的SVId=22(ProcessRecipeName )去除数字和冒号字符 5:Copy recipe 弹窗无法修改描述问题修复 6:mfc delay ui和RT不同步问题修复 2025-10-31 version 0.0.0.11 1:mfc sv延迟下发功能 2:双击 Chart无需重置图表 3:Job涉及的 command都需要上报事件,alarmCondition额外上报RecipeAbnormalEnd事件 4:变更GemModel文件 5:自动补液添加checkTime,默认1s,支持配置 6:wtr/ftr routinue增加3次 check IsReady逻辑/与延迟时间配置 7:UI O2 checkLimitData根据不同阶段展示不同数据 8:boat R Axis boatrotatestop指令 Stop之后,Check IsMoving信号 9:预约Job,Tube状态按照正常Job状态进行 10:进出货冲突 2025-10-15 version 0.0.0.4 1:EAP 问题机台端验证通过 2:将FAB内配置项同步到Git仓库 3:优化去除Recipe Gas UI Step切换弹窗提示 4:bug 修复 Status=>Main界面 SubRecipe执行中,展示的subRecipeName是step名称 5:新增加热带 温度/功率 SVID及其逻辑 6:增加DryClearnCount SVID及其逻辑 7:recipeGasUI Step切換去除弹窗 8:Step/Recipe/Boat的累计膜厚 如果累计值<=0,直接归0处理,不存在负值的情况 9:StepName界面 save弹窗提示