 jiangjy
|
b931ec21e2
新增SVID boat膜厚数据
|
преди 1 месец |
|
jiangjy
|
8d2230cbfe
fix Recipe N2Purge联动FIMSN2purgeConfig与LA N2pugre功能
|
преди 1 месец |
|
jiangjy
|
88c9aef856
Tank补液逻辑及其H位卡控
|
преди 1 месец |
|
jiangjy
|
02b0234f5d
fix Recipe N2PurgeMode None选项不做逻辑
|
преди 2 месеца |
|
jiangjy
|
14955471e7
fix 合并minics报警类型
|
преди 3 месеца |
|
jiangjy
|
1a2bc2d233
fix add processData区分不同Recipe及其 触发方式
|
преди 3 месеца |
|
jiangjy
|
35ce393bc9
fix ui
|
преди 4 месеца |
|
jiangjy
|
62d9d4f4ff
fix abortRecipe/idleRecipe 数据不正确/process log无法展示导出 问题
|
преди 4 месеца |
 huangping
|
b2f0c7d993
ELK需求177：bufferPurge功能优化
|
преди 4 месеца |
|
jiangjy
|
9305db1b07
fix 调整N2Purge 展示
|
преди 4 месеца |
|
jiangjy
|
63a20ed883
BWR关联VFD 设定
|
преди 4 месеца |
|
jiangjy
|
b49f4700fa
update recipe btn
|
преди 4 месеца |
|
huangping
|
1f9c2d3b94
修改gaspanel CEXH和DPR使用iotrigger
|
преди 4 месеца |
|
jiangjy
|
3beebed461
update
|
преди 4 месеца |
|
jiangjy
|
43303dc8a9
update Gas Btn
|
преди 4 месеца |
|
jiangjy
|
964e4261dc
FFU调整
|
преди 5 месеца |
|
huangping
|
5e0c17997b
从TiN前移已解决bug：1.recipe手动Abort导致建表少Scheduler.CoolingRemainTime列
|
преди 5 месеца |
|
jiangjy
|
ea95028c94
update runOtherRecipe
|
преди 5 месеца |
 Jiangjinyuan
|
22628988cf
update Recipe Exec
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
b4cf221139
update
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
229a0dbc31
update
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
29d2758bc0
AlarmReport的触发
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
ceda155ea8
ScheduleMaintenance代码整理
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
f03daf25c7
update Recipe StepId/StepGroup统计完成
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
e1826ef998
update
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
a248ced2b6
update
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
0b70b6c1c2
update ScheduledMaitViewModel界面 Reator 模块界面交互相关功能
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
0f0f7a0964
ScheduleMaintenance-Carrier/Wafer SD/ED模块功能取代WaferCycleTime配置项功能
|
преди 5 месеца |
|
Jiangjinyuan
|
a9a34e122c
update 去除加热带相关逻辑
|
преди 6 месеца |
 Xiongbing
|
b35a8db10c
|
преди 6 месеца |
